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| 顕微鏡像 |
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| ナノ・インプリンティングでは、右の図に示すように、型(Mold)をポリマーに押し込むことで、微細な構造を成形により製作する。その方法には、熱可塑性樹脂を用いる場合と光硬化樹脂を用いる場合がある。本研究では、これらの方法を用いて光学素子のための高アスペクト構造を製作するための研究を行っている。
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| この方法の利点としては次のことが上げられる。 |
| 1） |
集積化極微細パターンを、効率よく転写できる。 |
| 2） |
装置導入、維持コストが低い。 |
| 3） |
高価なレジストが不用 |
| 4） |
柔軟な断面形状に対応できる。 |
| 5） |
現像やドライエッチングが不要で環境にも配慮できる。 |
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| 研究内容 |
| ○樹脂特性の解析とプロセス最適化 |
| ○離型プロセスの高度化 |
| ○成型過程の理論解析 |
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