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| ［２］ |
回折格子搭載型紫外線レーザー干渉露光装置を用いた表面無反射構造の作製 |
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（大阪科学技術センター／豊田宏）
（大阪府立大学／菊田久雄）
（大阪府立産業技術総合研究所／福田宏輝・四谷任） |
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| 研究の目的と特徴 |
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| 従来の干渉露光装置では、振動による露光光学系の光軸ずれが安定な露光を妨げていた。本テーマでは、回折格子を組み込んだ安定でなおかつ高コントラストな干渉露光装置を開発し、表面無反射構造を作製することを目的としている。
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| 下記、概略図に示すように光軸を1本のみとし、その光軸に回折格子を挿入する。その回折格子では３つの回折光を発生するようにさせており、その３光束により形成された干渉縞により高コントラストな露光が行える。また光軸が単一であるので振動にも強い光学系である。 |
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| 事業化計画 |
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表面無反射構造の試作提供事業での露光装置としての運用 |
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