事業成果
[4] 表面無反射構造の複製技術開発
(大阪科学技術センター、大阪府立産業技術総合研究所、三洋電機(株)、
三洋マービック・メディア(株))
[1] 表面無反射構造作製技術の開発 →
[2] 回折格子搭載型紫外線レーザー干渉露光装置を用いた
表面無反射構造の作製 →
[3] 曲面原器を用いた量産化技術開発 →
研究の目的と特徴
目的
波長以下のオーダーで加工された表面無反射構造素子の原器作製から成形迄を行い、量産化の目処を付ける。
特徴
1) 広い波長領域、角度領域で光の反射抑制
2) 射出成形で複製することにより低コスト化が可能
3) 一体成形構造により得られる高い信頼性
目標仕様
1) 平面上(>大面積2インチ)の無反射構造・・・反射率<1%
表示デバイス⇒映り込み防止、クリアな画像
2) 曲面上(非球面レンズ上)、回折格子上に、表面無反射構造を作製・複製
光学部品⇒高透過率、利用効率UP、迷光防止
【複製プロセス】
【金型製作プロセス】 電鋳×2による形状の反転が可能
成   果
【1】 平面2インチサイズ
1) 原器作製 (原器の仕様・・・ピッチ250nm、アスペクト比>1)
2) 複製 (成形品のデータ・・・平均反射率0.13〜0.42%)
成形品での特性確認:平均反射率<0.5%
量産プロセスでの試作、量産性の確認
【2】 曲面上(非球面レンズ上)への作製
1) 原器作製
2) 複製
曲面上に表面無反射構造を作製し、成形品透過率で97%を得た。
【3】 回折格子上への作製
1) 原器作製
2) 複製
回折格子上に表面無反射構造を原器〜成形品を作製した。
事業化計画
サンプル試作を続け、コスト・商品性の調査を行う。
金型販売ビジネスの可能性を調査する。
成果発表
特許出願件数 15件 学会発表 2件
[1] 表面無反射構造作製技術の開発 →
[2] 回折格子搭載型紫外線レーザー干渉露光装置を用いた
表面無反射構造の作製 →
[3] 曲面原器を用いた量産化技術開発 →

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