事業成果 ［９］ 微細光学素子の素材と加工技術 （大阪府立産業技術総合研究所／森脇耕介・佐藤和郎・福田宏輝） ［１］ 新機能光ナノ構造デバイスの開発 ［２］ 構造複屈折偏光素子の開発 ［３］ 偏光計測カメラ ［４］ 波長選択フィルターの開発 ［５］ 導波型光スイッチの研究 ［６］ 共鳴格子型光スイッチの研究 ［７］ ナノインプリント法による光学素子作製 ［８］ シリコン微細深溝エッチング 技術の開発 Zn2SnO4（ZTO）の応用について ZTOは、透明導電性材料としてよく知られる In2O3（ITO）の代替材料として有望視されているが、一方で可視光波長域における高透過率（図1）と高屈折率（〜2.0、図2）の特性を有することから、微細光学素子への応用の可能性について検討した。 ZTOの深溝回折格子への適用結果 可視光波長域で機能するサブ波長光学素子では、基板深さ方向の構造は基板の屈折率に依存する。そのため石英などで位相板を作製する場合は、微小周期構造で比較的高アスペクト比の「深溝」の加工を必要とするが、技術的に加工が困難となる。 高屈折のZTO薄膜層を光学素子表面に設ければ、より浅い溝でも同等の光学的機能が得られる。光学位相板に対し、RFスパッタリング装置によって実際にZTO層を成膜し、効果を確認した。 （「構造複屈折偏光素子の開発」参照） 成果発表 ● 特許出願件数 ： 1件 ● 学会発表 ： 1件 ● 新聞発表 ： 1件 光学素子上への無反射構造の加工方法の検討 回折格子上の無反射構造について、原器として設計されたサイズでの成形可能性の検証を担当した。 （目的および設計についての詳細は「表面無反射構造作製技術の開発」参照） 加工結果 周期20μm、溝深さ0.2μm、1.0μmの回折格子上へ、円錐形状が平面上六方最密で配置された加工例をそれぞれ図3、図4に示す。溝深さ1μm程度までの回折格子上への無反射構造が成形できることを確認した。 事業化計画 ● 表面無反射構造の試作提供事業 ● 表面無反射構造を付与した光学素子の供給 ［１］ 新機能光ナノ構造デバイスの開発 ［２］ 構造複屈折偏光素子の開発 ［３］ 偏光計測カメラ ［４］ 波長選択フィルターの開発 ［５］ 導波型光スイッチの研究 ［６］ 共鳴格子型光スイッチの研究 ［７］ ナノインプリント法による光学素子作製 ［８］ シリコン微細深溝エッチング 技術の開発 Copyright 2004 (C) ATT'S corporationl all rights reserved. このHPの画像・文章・デザイン等の無断転載・複製を禁止します。